压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。
1、Infitech真空计(Vacuum gauge)是测量低于一个大气压力的气体或蒸气压力的仪器。
2、Infitech绝对直空计是从直空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。
3、Infitech相对直空计则是必须经过绝对直空计的校准之后才能进行直空度的测量。
任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才最显著,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。近代直空
技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105~10-14Pa),没有任何一种直空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种直空计
分别管辖一定的区域。但由干各种直空计在原理上的差异,在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。由上观之,为改善直空计
性能及提高直空测量准确度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。表1给出一些直空计的压力测量范围。
在较高压力时(105~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳直空计,薄膜计,弹策管压力计等。在103~10-2Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。