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爱德华真空泵在半导体、光伏、锂电无油无污染洁净真空应用案例

近年来，真空泵业务高增长，光伏客户提货加速，半导体重要客户形成批量。

2022年4月，由深圳市托理拆利机电设备有限公司给广东某半导体行业项目选用了两套爱德华Edwards真空泵，目前设备安装调试完毕，运行稳定。在光伏、锂电、半导体面板等要求较高的领域及其工艺特性，需要一个极其洁净的环境以保证生产过程中产品不受空气污染或扰动的影响，且要求真空系统绝对无油，对设备的稳定性和可靠性要求也比较高，因此Edwards真空泵是光伏锂电半导体面板等领域中必备的通用设备，爱德华真空泵100%无油，变频节能，安全可靠完全满足要求。

 

半导体行业真空应用工艺介绍

半导体行业中的蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，机械手，自动化真空清扫等 所需用真空为生产真空（中高真空）；清扫真空（粗真空）；工艺真空（粗真空）。

工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送。

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